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電感耦合等離子體光譜儀開機前檢是維護和保養(yǎng)是保持光譜分析儀性能良好和硬件完好的關(guān)鍵。測定前操作者必須做好合理的安排，實現(xiàn)安排好各項準備工作，切忌在同一段時間里對光譜分析儀主機開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬間電流大大高于運行正常時的電流，瞬間的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，用量能否連續(xù)工作。
一般氬氣的儲量至少一個滿瓶以上才可以開機，檢查氬氣凈化機工作狀態(tài)是否正常，如果不正常或者不能工作，馬上更換高純度氬(99.999%);然后首先開啟氬氣凈化機，打開氬氣，檢查儀器氣體系統(tǒng)工作是否正常，將氬氣出口壓力調(diào)在(0.45~0.6)MPA之間。
檢查循環(huán)水機的連接管路是否有泄漏，檢查循環(huán)水機的電源連接是否正常，檢查循環(huán)水機內(nèi)循環(huán)液的液面是否在線上;在正常情況下，推薦半年更換循環(huán)液。循環(huán)水機的出水壓力應(yīng)為(0.31!0.55)MPa。
有的水平(軸向)觀測光譜分析儀需要用空壓機切割尾焰，還要檢查壓縮機的工作狀態(tài)氣壓是否在0.6MPa，檢查完畢狀態(tài)正常后開啟循環(huán)冷卻水和空氣壓縮機，打開穩(wěn)壓電源，檢查穩(wěn)壓電源是否欠壓工作，如果電壓正常在1min后打開主電源開關(guān)，否則要等穩(wěn)壓電源穩(wěn)定在打開光譜分析儀主機電源;如果打開主機電源后出現(xiàn)指示燈不亮和接觸器不吸合等現(xiàn)象，可檢查機內(nèi)電源箱側(cè)面1A和5A的熔絲是否燒壞;打開主機電源后光學恒溫系統(tǒng)(FPA)開始升溫，新型號光譜分析儀的預(yù)熱時間一般在30min左右就可以達到恒溫狀態(tài)，老型號的儀器大約需要(2~3)h。
然后依次打開計算機主機、顯示器和打印機，進入操作系統(tǒng)，打開循環(huán)水開關(guān);如果選擇波長為190nm以下的譜線，還需要打開多色器對檢測器進行吹掃。特別注意，先打開氬氣，再打開穩(wěn)壓電源，最后打開主機電源，順序千萬不能顛倒。
