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將ICP光譜儀的設定編輯好之后，就能進行點火測量了，點擊System/SetupDevices之后，設置好合適的等離子氣體流量，一般為10L/min、輔助氣流量為1L/min，霧化器氣流量為1L/min，設定完點擊Apply 進行沖洗氣路2分鐘。在矩管圖中看氣流指示都歸零以后，點擊Plasma點燃等離子體，點火后點擊Pump啟動進樣泵。在進樣前吸入蒸餾水或空基體溶液5∽15分鐘，以加熱和平衡組成成分。

1） 定量測量
分析線的定義：做定量測量前，必須先做分析線的定義。在 Method的Line Definition窗口中，點擊Method/Analysis/SingleMeasurements測量一個高濃度的標樣后，確定分析線的峰高、背景、積分范圍等相關定量參數。或調入已保存的光譜圖定義以上參數。
然后點擊Smart Analyzer Vision工作站左邊工具箱中的Analysis按鈕進入分析測量窗口。如果是用自動進樣器進樣，在自動進樣器窗口中點擊Automate/Executeprogram(F5)，按自動進樣器的編輯方法進樣。若要停止進樣，點擊Automate/AbortProgram（Esc）。

這些都是快捷鍵操作的說明，如果手動操作，就按照下面的方式。
測量樣品：把吸樣管放入要測的樣品中，若測量一次點擊Analysis/Single Measurements，若測量多次點擊Analysis/Multiple Measurements，測量完以后，點擊Analysis/SampleFinish。

測量標準樣品：將吸樣管放入要測的標樣中，點擊Analysis/MethodMeasurements，選擇要測的標樣名，點擊Measure，測量完成后，點擊Analysis/Sample Finish。然后按順序測完標準系列，再點擊Calculate，回到Method窗口，得到工作曲線。如果不能得到工作曲線，是由于軟件計算出的工作曲線的相關系數小于設定值。

2） 定性測量
點擊Smart Analyzer Vision工作站左邊工具箱中的Method按鈕，編輯一個要定性元素（或全譜定性）的方法，然后點擊spectra按鈕進入光譜測量窗口。把進樣管放入要檢測的樣品中，點擊spectra/Single Measurements，輸入要檢測的樣品名稱，測量完成后，點擊spectra/Sample Finish。一般要測定樣品空白和樣品的光譜圖，然后作比較。